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Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II
Typ: Vorlesung
SWS: 2
Credit Points: 3
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Kursbeschreibung / -kommentar
Die Vorlesung vermittelt den Studierenden die Grundlagen, um die spezifischen Prozessabläufe zur Herstellung von modernen Bauelementen der Mikrosystemtechnik zu verstehen. Nach einer kurzen Einführung in die Thematik werden die Oberflächenmikromechanik (OMM), die Bulkmikromechanik (BMM), die Röntgenlitho-graphie und das LIGA-Verfahren ausführlich behandelt, und die Grundlagen zu den einzelnen technologischen Prozessen vermittelt. Anhand von Anwendungsbeispielen wird gezeigt, wie durch eine ge... <a href='/uni/kurs/94876/beschreibung'>mehr »</a>
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