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Sensorprinzipien (Mikrosystemtechnik, Sensorik/Analytik)
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Kursbeschreibung / -kommentar
Funktionsweise verschiedener Sensorprinzipien für Druck, Beschleunigung, Position; Temperatursensoren; Volumenstrommessung; Strahlungsmessung.
Es werden diese Einsatzbereiche nach resistiven. kapazitiven, magnetisch-induktiven Methoden gegliedert, unter besonderer Berücksichtigung von Halbleitersensoren.
Effekte: elastische Deformation, piezoelektrische rund piezoresistiver Effekt, Thermische Ausstrahlung, magnetoresistiver Effekt, Hall-Effekt, Seebeck-Effekt usw.
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