Übungen z. Grundlagen der Mikrosystemtechnik
Typ: Übung
SWS: 2
Credit Points: 3
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Kursbeschreibung / -kommentar
Die Inhalte der Übungen orientieren sich an den Inhalten der Vorlesung „Mikrosystemtechnik“. Zu Beginn wird ein kurzer Überblick über die Technologien der Mikrosystemtechnik verschafft. Darauf folgt das Thema Skalierungen, in welchem das Skalierungsverhalten von verschiedenen physikalischen Effekten (mechanische Spannung, Diffusion, Elektrostatik, Magnetische Felder, Fluidik, Wärmetransport, …) analysiert wird. Der nächste Abschnitt befasst sich mit mechanischen Bauelementen und hier liegt das Augenmerk zunächst auf der Anisotropie der häufig verwendeten Materialien. Die Anisotropie wird am Material Silizium, welches in der Mikrosystemtechnik eine wichtige Rolle spielt, betrachtet. Desweiteren wird das Verhalten und die Auslegung von Platten und Membranen, sowie sowie Feder-Masse-Systemen analysiert. Der letzte Abschnitt der Übungen befasst sich mit der Auslegung diverser Sensoren (z.B. Druck- und Beschleunigungssensoren) und den für die Auswertung verwendeten physikalischen Effekten.
Im Modul Mikrosystemtechnik (Übungen)
- vertiefen die Studierenden das in der Vorlesung „Mikrosystemtechnik“ vermittelte theoretische Wissen an praktischen Übungsbeispielen.
Erworbene Kompetenzen:
Die Studierenden
- können die Abhängigkeiten bzw. Auswirkungen einer Miniaturisierung auf physikalische Größen, wie mechanische Spannungen, elektrische, piezoelektrische und magnetische Kräfte, Zeitkonstanten und Frequenzen, thermische Phänomene, Reibungseffekte und das Verhalten von Flüssigkeiten selbst herleiten,
- können die physikalischen Grundlagen zu den bedeutendsten Wandlungsprinzipien bzw. Messeffekten der MST anwenden,
- beherrschen die Anwendung der wesentlichen Grundlagen des methodischen Vorgehens zur Realisierung von mikrosystemtechnischen Sensoren und Systemen
- können anhand vorgegebener Spezifikationen einen Mikrosensor einschließlich der elektrischen Auswerteschaltung auslegen und entwerfen.
