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Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I
Typ: Vorlesung
SWS: 4
Credit Points: 6
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Kursbeschreibung / -kommentar
Die Vorlesung vermittelt den Studierenden die Grundlagen, um die komplexen Prozessabläufe bei der Herstellung von modernen Bauelementen der Mikroelektronik sowie der Nano- und Mikrosystemtechnik zu verstehen. Nach einer Einführung in die Thematik werden zunächst die wichtigsten Materialien - insbesondere Silizium - vorgestellt. Anschließend werden die bedeutendsten Prozesse zur Herstellung von mikroelektronischen und mikrosystemtechnischen Bauelementen und Systemen behandelt. Insbesondere wer... <a href='/uni/kurs/94875/beschreibung'>mehr »</a>
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